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國產(chǎn)掃描電鏡觀測樣品需要滿足什么條件?

更新時間:2024-01-23      點擊次數(shù):2819
  國產(chǎn)掃描電鏡觀測樣品需要滿足什么條件?
  說到掃描電鏡,很多人可能是聽說過的,這是一種非常普遍的設(shè)備,市場上國產(chǎn)掃描電鏡品牌和廠商也非常的多,應(yīng)用的范圍很廣泛。掃描電鏡本身是一種多功能的設(shè)備、其有很多*的性能、特別是在鑒定分析中其是使用廣泛的一種設(shè)備。一般來講,我們使用它對被觀測物體的外觀形貌進(jìn)行觀測或分析,另外在觀察形貌的同時,我們也可以對掃描電鏡選配EDS進(jìn)行元素成份分析。
  由于國產(chǎn)掃描電鏡并非直接觀測,而是通過發(fā)射電子束對樣品進(jìn)行激發(fā),并使用背散射或二次電子探測器對被觀測物體的成份像和形貌像進(jìn)行分析。由于掃面電鏡的工作方式就決定了,一般說來使用掃描電鏡觀測的樣品需要滿足如下幾個要求:
  1.形貌形態(tài),必須耐高真空
  掃描電鏡是靠電子束掃描物體表面來成像的。空氣的存在會使的電子束變型,影響掃描效果,所以被測樣品比較能耐高真空。
  2.樣品表面不能含有有機油脂類污染物
  油污在電子束作用下極端容易分解成碳?xì)浠铮瑢φ婵窄h(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w;碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘柈a(chǎn)量;碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散;碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面,降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。
  3.樣品必須是干燥的
  水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā),從而極大降低燈絲壽命;水蒸氣會散射電子束,增加電子束能量分散,從而增大色差,降低分辨能力。
  4.樣品表面可以導(dǎo)電
  樣品表面必須可以導(dǎo)電,如果不能導(dǎo)電,則必須鍍金以增加導(dǎo)電性。在大多數(shù)情況下,初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,因此多余的電子必須導(dǎo)入地下,即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負(fù)電勢不斷增加,出現(xiàn)充電效應(yīng),使圖像畸變,入射電子束減速,此時樣品如同一個電子平面鏡。對不導(dǎo)電的樣品,建議采用離子濺射鍍膜機噴鍍金屬,這樣可以顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質(zhì)量。
  5.特殊樣品制備的考慮因素
  掃描電鏡一般不建議觀測磁性材料,如果一定要觀測此類物質(zhì),則建議對材料首先進(jìn)行退磁。如果要檢測觀察弱反差機理,就必須消除強反差機理(例如,形貌反差),否則很難檢測到弱的反差。當(dāng)希望背散射電子衍射反差(EBSD),I和II型磁反差或其他弱反差機理時,磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光,電解拋光等,以使樣品產(chǎn)生一個幾乎消除形貌的鏡面。
  通過以上了解,相信大家對國產(chǎn)掃描電鏡觀測樣品有了一定的認(rèn)識,總結(jié)說來,掃描電鏡樣品通常需要在真空環(huán)境下進(jìn)行觀測(目前少數(shù)電鏡也有采用低真空技術(shù)進(jìn)行觀測的),因此其對被觀察樣品的要求簡單說來就是,樣品需要:干燥、無油、導(dǎo)電。
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