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國儀量子高速掃描電子顯微鏡

簡要描述:國儀量子高速掃描電子顯微鏡HEM6000是一款可實現跨尺度大規模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉系統、高壓樣品臺減速、動態光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術,實現了高速圖像采集和成像,同時保證了納米級分辨率。
面向應用場景的自動化操作流程設計,使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規場發射掃描電鏡的5倍以上。

  • 產品型號:HEM6000
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-07-18
  • 訪  問  量:6328

詳細介紹

高速掃描電子顯微鏡 HEM6000

 

HEM6000是一款可實現跨尺度大規模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉系統、高壓樣品臺減速、動態光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術,實現了高速圖像采集和成像,同時保證了納米級分辨率。面向應用場景的自動化操作流程設計,使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規場發射掃描電鏡的5倍以上。

核心技術


高速掃描電子顯微鏡產品優勢

高速自動化

全自動上下樣流程和采圖作業,綜合成像速度優于常規場發射掃描電鏡的 5 倍

低壓高分辨

樣品臺減速技術,實現低落點電壓,同時保證高分辨率

大場低畸變  

跟隨掃描場動態變化的光軸,實現了更低的場邊緣畸變

應用領域

 


應用案例

大規模成像

高速掃描電子顯微鏡產品參數
關鍵參數 分辨率 1.3nm @ 3 kV,SE;1.9nm @ 3 kV,BSE;
2.2 nm @ 1 kV,SE;3.3 nm @ 1 kV,BSE;
加速電壓 100 V~6 kV(減速模式)
6 kV~30 kV(非減速模式)
放大倍率 66~1,000,000x
電子槍類型 高亮度肖特基場發射電子槍
物鏡類型 浸沒式電磁復合物鏡
樣品裝載系統 真空系統 全自動控制,無油真空系統
樣品監控 樣品倉監控水平攝像頭 ; 換樣倉監控垂直攝像頭
樣品最大尺寸 直徑4英寸
樣品臺 類型 電機驅動3軸樣品臺(*可選配壓電驅動樣品臺)
行程

X、Y軸:110mm;

Z軸:28mm;

重復定位精度

X軸:±0.6μm;

Y軸:±0.3μm;

換樣方式 全自動控制
換樣時間 <15 min
換樣倉清洗 全自動控制等離子清洗系統
圖像采集與處理 駐點時間 10 ns/pixel
圖像采集速度 2*100 M pixel/s
圖像大小 8K*8K
探測器和擴展 標配 鏡筒內混合電子探測器
選配 低角度背散射電子探測器
鏡筒內高角度背散射電子探測器
壓電驅動樣品臺
高分辨大場模式
樣品倉等離子清洗系統
6英寸樣品裝載系統
主動減震臺
AI降噪;大圖拼接;三維重構
軟件 語言 中文
操作系統 Windows
導航 光學導航、手勢快捷導航
自動功能 自動樣品識別、自動選區拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

 

 

 

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